,又不能因?yàn)榘徇\(yùn)晶圓的機(jī)器人自身運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生任何微小顆粒。因?yàn)橐粋€(gè)微米級(jí)的塵?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">?赡芫蜁?huì)導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">!笔澜鐧C(jī)器人大會(huì)參展企業(yè)京城機(jī)電相關(guān)負(fù)責(zé)人表示
,目前,企業(yè)已實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控
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